| 申请公开说明书(20页) 审定授权说明书(20页) English version |
本发明涉及一种对许多中空体(1)的内表面同时进行涂层的机器。为了提高所述机器的性能,该中空体载板(2)具有许多彼此相邻设置成矩阵状的固定点(22),管支承板(3)具有与所述固定点(22)对应的、竖直设置的供气管。在机架(16)上固定有一同样也是竖直设置的分隔壁(15),该分隔壁具有布置成相应匹配的、彼此相邻设置成矩阵状的带有石英窗的许多孔。载板(2)和管支承板(3)具有一驱动机构(23),用于使其水平移入机器和对所述机器进行装料和卸料。分隔壁(15)、中空体载板(2)、管支承板(3)及它们的功能附件(10,11,23-25)形成一第一模块。在机架(16)上固定有一与第一模块成镜象关系的第二模块结构。设置成矩阵状的微波单元(12)设置在所述模块之间。 |