| 申请公开说明书(7页) English version |
本发明的激光蒸发装置其目的在于使激光入射窗不模糊，并且高产量地在大面积基板上形成化合物薄膜。通过在连续流动的基板与真空槽所包围的圆筒旋转靶之间照射激光，能够使基板连续性地从大气压下送进来成膜，而且没有窗，激光可从缝中入射，可高速地产生化合物薄膜。 |
| 申 请 号： |
94102047.9 |
申 请 日：
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1994.02.24 |
| 名 称： |
激光蒸发装置
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| 公开 (公告) 号： |
CN1092114 |
公开(公告)日：
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1994.09.14 |
| 主 分 类 号： |
C23C14/28 |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
C23C14/28 |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
1993.2.24 JP 35101/93 |
| 申请(专利权)人： |
松下电器产业株式会社 |
| 地 址： |
日本大阪府 |
| 发 明 (设计)人： |
吉田善一; 水口信一 |
国 际 申 请： |
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| 国 际 公 布： |
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进入国家日期： |
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| 专利 代理 机构： |
上海专利事务所 |
代 理 人： |
赵国华 |
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