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    本发明公开了一种用于制备绝缘薄膜的涂料组合物,所述的涂料组合物包含:(A)至少一种氧化硅前体,所述的氧化硅前体包含至少一种选自烷氧基硅烷和其水解产物的化合物;(B)至少一种有机聚合物;(C)水;(D)至少一种醇;和,任选的(E)用于组分(A)、(B)、(C)和(D)混合物的有机溶剂;其中水(C)与所含的至少一种氧化硅前体(A)的重量比(WR)满足不等式0.01<WR<10,水(C)的重量比所含的至少一种醇(D)的重量大,条件是当所含的至少一种有机聚合物(B)在水(C)和醇(D)的混合物中不溶时,涂料组合物包含所有(A)至(E)的组分。
申    请    号: 01807780.3 申   请   日: 2001.04.04
名          称: 用于制备绝缘薄膜的涂料组合物

公开 (公告) 号: CN1422310 公开(公告)日: 2003.06.04
主  分  类  号: C09D183/02 分案原申请号:
分    类    号: C09D183/02;C09D183/04;C09D183/14;C09D5/25;C01B33/12;H01L21/76;H01L21/316;H01L21/312
颁   证     日: 优   先   权: 2000.4.4 JP 102447/2000
申请(专利权)人: 旭化成株式会社
地          址: 日本大阪
发 明 (设计)人: 花畑博之;荒木彻;中村三树彦 国  际 申 请: PCT/JP01/02932 2001.4.4
国  际  公  布: WO01/74957 日 2001.10.11 进入国家日期: 2002.10.08
专利 代理 机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代   理   人: 丁业平;王维玉

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