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一种制备氧化钒薄膜的方法，包括①衬底表面清洗。②溅射钒膜：充入氩气至安放衬底的真空室，分别采用平行粒子束、聚焦粒子束清洗衬底和耙材；溅射镀制钒膜，直至镀膜结束。③氧化扩散和后退火：在氩气气氛下加热退火炉，升温后充入氧气，氧气和氩气的流量比为1∶10～10∶1；氧化钒膜，制备氧化钒薄膜；钒膜氧化充分后，关闭氧气阀，氧化钒膜在纯氩气中退火；退火结束后，关闭退火炉，在氩气环境内冷却至室温。该方法克服了反应离子溅射镀膜方法存在的内在缺陷，避免了粒子束对氧化钒膜结构的损伤，增强薄膜的致密性和与衬底的粘附性；不需要在溅射镀膜过程中严格控制反应气体流量，降低了方法难度，增加了方法的可重复性，能制备出具有不同化学配比、可满足多种需求的氧化钒薄膜。 |