| 申 请 号： |
02142837.9 |
申 请 日：
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1996.09.18 |
| 名 称： |
生产光敏抗蚀剂组合物的方法及用该组合物生产半导体元件的方法
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| 公开 (公告) 号： |
CN1432870 |
公开(公告)日：
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2003.07.30 |
| 主 分 类 号： |
G03F7/004 |
分案原申请号： |
96197087.1 |
| 分 类 号： |
G03F7/004;C08G8/04 |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
1995.9.20 US 08/530,648 |
| 申请(专利权)人： |
克拉里安特国际有限公司 |
| 地 址： |
瑞士穆坦兹 |
| 发 明 (设计)人： |
M·D·拉曼;D·P·奥宾 |
国 际 申 请： |
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| 国 际 公 布： |
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进入国家日期： |
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| 专利 代理 机构： |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代 理 人： |
黄淑辉 |
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